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半导体厂务漏液监测报警系统


   在
半导体制造过程中,由于需要使用大量化学试剂、溶剂、特种气体和其他危险物料,可能会带来一系列化学腐蚀风险、环境污染、火灾与爆炸风险、人员健康危害、生产中断、品质控制问题。因此漏液风险是必须严格管控的一个重要环节。


半导体厂务漏液的危害

主要表现在以下几个方面:

1.生产中断:液体泄漏可能导致生产线的紧急停机,这会带来严重的生产损失和交货延误。

2.环境污染:半导体工厂使用的化学品和工艺液体可能对环境造成污染,对周围社区和自然生态系统产生负面影响。

3.设备受损:某些液体可能对生产设备造成腐蚀或损害,导致昂贵的维修和更换。

4.安全威胁:某些液体对人员的健康和安全构成威胁,可能引发事故和伤害。


因此,半导体厂务必须采取有效措施来监测和控制漏液情况,柳智科技半导体厂房漏液监测系统刚好弥补这一缺陷,可以有效的保障生产安全和环境安全。


半导体厂务的漏液侦测系统主要功能体现:

1.早期发现漏液并快速响应报警通知处理;

2.泄漏位置精准报告显示;

3.数据记录(包括泄漏时间、位置、液体类型),保障合法合规,避免潜在的罚款与法律问题。


传统半导体厂房漏液监测系统通常由漏液侦测控制器、水浸绳/检测绳、点式传感器、无线/有线传感器网络、视觉/图像识别系统、超声波探测系统、光纤传感器、环境监控软件等组成。传统的半导体厂房漏液监测系统由于是线缆类型的产品原因,容易导致误报率上升的问题,而柳智的薄膜式漏液检测系统比较好的避免了这一问题。不仅如此,在漏液系统后期维护中也有比较大的优势。比如,漏液处理恢复速度快,扁平结构耐碾压不占地,更换便捷,这减少了后期维护的一个成本。

柳智的半导体厂务的漏液侦测系统主要由漏液检测控制器、现场漏液传感部件、连接件、区域控制及上位机系统、这几个部分组成的。与传统漏液监测不同的是,我们将线缆式的漏水感应电路改成了薄膜式线路。薄膜本身是具有导电性的,当干燥时,薄膜与地面之间形成特定的电容关系。一旦有液体泄漏接触到薄膜,液体作为导电介质会改变薄膜与地面之间的电容值,这一变化会被系统检测到并触发警报。迅速找到泄漏点,及时处理,避免造成巨大损失。


薄膜式漏液监测系统的升级优势在:

1.无金属裸露,表面光滑,误报率低,可贴敷在各种表面

2.光滑的平面无法积聚灰尘或杂质,漏液处理后快速恢复

3.稳定的系统:抗干扰性强,过滤误报

4.扁平结构耐碾压,人车无阻

5.基础产品具备一定耐酸碱性(第三方认证)

6.标准便捷的处理附件:快速裁剪感应带,使用连接器连接

7.响应时间领先

8.有效降低误报率功能